Resumo

Neste trabalho, medimos o perfil 3D de superfícies (microtopografia) utilizando uma técnica de interferometria óptica: Deslocamento de Fase (Phase-Shifting). Utilizamos um interferômetro do tipo Twyman-Green para produzir figuras de interferência da superfície analisada. Essas imagens foram armazenadas usando-se uma câmera CCD ligada à um microcomputador. Para obter a microtopografia, calculamos o Mapa de Fase a partir das imagens digitalizadas usando um programa de microcomputador. Posteriormente um ou\-tro programa removeu a ambigüidade da função tangente (unwrapping), pela Técnica do Automato Celular, usada no cálculo do Mapa de Fase. Então efetuamos os cálculos para determinar a microtopografia da superfíce. Depois fizemos a análise da microtopografia, levantando informações relevantes para a sua caracterização. Analisamos objetos com alta refletividade (espelho plano e rede de Ronchi) e obtivemos bons resultados. Também comparamos alguns dos resultados obtidos com a técnica de Deslocamento de Fase com os resultados obtidos pela análise de Franjas de Igual Espessura.

Alguns Resultados doTrabalho

Interferogramas de um espelho plano inclinado. (a) Df = 0.
(b) Df = p/2. (c) Df = p. (d) Df = 3p/2.

Resultado dos cálculos com os interferogramas mostrados acima.
(a) Mapa de Fase com saltos de fase. (b) Mapa de Fase sem ambigüidade.
(c) Microtopografia do espelho plano inclinado.

Microtopografia de uma rede de Ronchi (4 l/mm).

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